X-ray metrology in semiconductor manufacturing

Main
Engineering
X-ray metrology in semiconductor...

X-ray metrology in semiconductor manufacturing

Name: X-ray metrology in semiconductor manufacturing
ISBN: 9781420005653

D. Keith Bowen, Brian K. Tanner

0 / 0

0 comments

Որքա՞ն է ձեզ դուր եկել այս գիրքը:

Ինչպիսի՞ն է բեռնված ֆայլի որակը:

Բեռնեք գիրքը` գնահատելու դրա որակը

Ինչպիսի՞ն է բեռնված ֆայլերի որակը:

Written by established world experts, X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing describes the applications, science, and technology of this rapidly evolving area. This book emphasizes practical metrology, with real world examples from the semiconductor and magnetics industries. The authors discuss the techniques, theory, and applications of X-ray metrology in semiconductors and other advanced thin films. The book covers the essential metrological questions of precision and repeatability, absolute accuracy, spot size, and throughput for each type of measurement. This text contains important information for electrical engineers, fabrication engineers, and semiconductor engineers.

Կատեգորիաներ:

Engineering

Տարի:

2006

Հրատարակում:

Հրատարակչություն:

CRC/Taylor & Francis

Լեզու:

english

Էջեր:

273

ISBN 10: